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蔡司三坐標的紅寶石表面接觸測試，但軟件得到球中心數據，然后軟件根據探頭補償給出實際值。前者在裝配前進行補償。后者是相反的。
例如，平面擬合，通過多個點的擬合：在測量每個點后，進行探頭半徑補償，并將球中心點補償到工件表面；對每個點重復上述步驟。然后，用小二乘法計算補償到工件表面的所有點。缺點：各部分都有余弦誤差，特別是曲率變化較大的區域。
平面和直線可以理解為曲線和曲面的特殊形式。表面越直，兩種方法的差別越小。對于曲率變化明顯的曲面，的擬合再補償精度應得到更大的保證。不建議使用PC-DMIS構造曲線和曲面，因為有許多處理方法。PC-DMIS在這方面的計算還不夠全面和專業。它是一個專業的測量軟件。本文討論的兩種方法都是針對如何準確測量并獲得準確的測量值而提出的，相反，面積掃描的計算方法類似于擬合再補償，可以提高表面掃描中獲得測量點的精度。
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