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蔡司三坐標是一種集光、機、電、計算機為一體的高精度、高效率的多功能精密設備，如果維護及保養做得好，就能延長機器使用壽命，并使精度得到保障，故障率降低。蔡司三坐標測量機價格昂貴，做好日常維護保養和排除常見故障可以節省大量費用。
以下是正確操作蔡司三坐標的方法：?
(1)三坐標測量機對溫度、濕度要求比較高，開機前檢查室內溫度、濕度是否正常，若不正常應查明原因才能開機。若溫度、濕度不正常，三坐標測量機可能報警而不能工作。
(2)檢查外圍設備是否完好，控制系統間是否連接正常。
(3)檢查電源、氣源是否正常。
(4)按順序開機，接通氣源，依次打開主電源、不間斷電源，打開計算機，啟動程序。啟動后，檢查各功能鍵是否正常。
(5)被測零件在放到工作臺上檢測之前，應先清洗去毛刺，防止在加工完成后零件表面殘留的冷卻液及加工殘留物，影響測量機的測量精度及測尖使用壽命。測量時，應把零件放在方便檢測的位置。安裝更換測桿、探頭前，應先按下保護鍵。測量中，要避免被測零件與主軸、測頭之間產生干涉和碰撞。
(6)在工作過程中，測座在轉動時(特別是帶有加長桿的情況下)一定要遠離零件，以避免碰撞。
(7)測量完畢，要注意做好清理工作，卸下被測工件，將測量機退回原位，按開機的逆順序關機。將氣源、過濾器放水，為下次工作做好準備。